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高純氮氣


       高純氮氣用于化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保護介質,速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑,電子工業中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等,還用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。
       在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統要先用高純氮置換,再用高純氦置換。

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