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高純氣體充裝的抽空操作

       一、開啟真空泵,同時抽空匯流排,負壓值≥0.1MPa,繼續抽真空15~30min,關閉抽空管道截止閥后,停止真空泵
       二、緩慢開啟抽空總閥,不要讓泵油外溢
       三、真空表指示值<-0.1MPa
       四、抽空5~15分鐘后
       五、關閉抽空總閥
       六、開啟通氣閥,不要抽空管路過油
       七、關閉真空泵,抽空結束
2019/03/30 15:35:26 2595 次

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